최재성 (지은이)
북스힐·2022-10-10
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반도체 칩 제조 공정이 점점 미세화 되면서 제조 공정에 사용되는 반도체 장비 역시 성능의 고도화가 필수적으로 요구되고 있다. 이 책은 반도체 장비를 구성하는 핵심 모듈의 종류와 기능, 동작 원리와 이들 핵심 모듈을 구성하는 부품의 종류와 기능. 동작원리를 이해하는데 도움이 되고자 제작하였다.
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