책 소개
반도체 제조 공정에 사용되는 것으로 반도체 생산을 위한 준비 단계(반도체 회로설계, 웨이퍼 제조 등)부터 웨이퍼 가공, 칩 생산, 조립·검사 단계까지의 모든 장비를 포함한다.
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반도체 제조 공정에 사용되는 것으로 반도체 생산을 위한 준비 단계(반도체 회로설계, 웨이퍼 제조 등)부터 웨이퍼 가공, 칩 생산, 조립·검사 단계까지의 모든 장비를 포함한다.
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