책 소개
박막(thin film)은 보통 수 ㎛이하의 두께를 가진 피막을 말하며, 박막재료는 그 제작 과정이 보통의 벌크(bulk) 재료와는 상이하므로 구조 차이에 의한 박막 고유의 특성을 나타내게 되며, 박막화에 따른 형상효과를 나타내게 된다. 따라서 박막은 벌크 재료와는 상이한 기계적, 전기적 및 광학적 특성 등을 나타낸다. 이러한 박막재료의 제조방법은 크게 습식법과 건식법으로 분류할 수 있으며, 본 교재의 Part 1에서는 건식법으로 분말 용사 코팅법(thermal spray coating), 전자빔 증착법(electron beam evaporation), 스퍼터링 증착법(sputtering deposition)을, 습식법으로 닥터블레이드법(doctor blade process), 스핀 코팅법(spin coating process) 등 산업 분야에서 널리 이용되고 있는 박막 및 후막(thick film) 성장에 적합한 기술들 위주로 설명하고자 한다. 또한 Part 2에서는 건식법과 습식법의 막 성장거동을 이해하는데 유용한 응고현상 및 핵생성 이론들을 설명하여 박막 성장 기술의 이해를 돕고자 하였다. 이 책은 우리 산업 분야에서 폭넓게 사용되고 있는 박막 및 후막 성장 기술에 대하여 그간 몇 년에 걸쳐 강의해 온 강의 자료를 기본으로 실무적인 관점에서 기술하고자 하였으므로 박막 및 후막 성장 기술을 실무적으로 접하는 분들에게 도움이 되기를 기대한다.
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목 차PART 1 박막 제조 기술PART 2 응고 및 핵생성chapter 1 분말 분사 코팅법chapter 2 전자빔 증착법chapter 3 스퍼터링 증착법chapter 4 닥터 블레이드법chapter 5 스핀 코팅법chapter 1 액․고체변태로서의 응고chapter 2 고체․액체․기체론chapter 3 고체와 액체의 평형chapter 4 순금속의 응고chapter 5 균일핵생성chapter 6 불균일핵생성
출처: 국립중앙도서관 서지정보
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